Система развертки в растр ионного пучка для ускорителя ЭГ-5

Авторы

  • Л. М. Ледо-Переда Объединенный институт ядерных исследований, Дубна; б Центр прикладных технологий и ядерного развития CEADEN, Куба
  • В. Н. Семенов Объединенный институт ядерных исследований, Дубна
  • В. С. Рихвицкий Объединенный институт ядерных исследований, Дубна
  • А. Н. Лихачев Объединенный институт ядерных исследований, Дубна
  • Р. Ш. Исаев Объединенный институт ядерных исследований, Дубна
  • И. А. Чепурченко Объединенный институт ядерных исследований, Дубна
  • А. С. Дорошкевич Объединенный институт ядерных исследований, Дубна

Аннотация

В рамках проекта модернизации ускорителя ЭГ-5 и совместных работ с АО «Микрон» (Зеленоград) и АО «Ангстрем» (Зеленоград) разработана система развертки пучка протонов для облучения кремниевых образцов. На основе электростатического ускорителя ЭГ-5 совместно с сотрудниками фирмы АО НПП «ЭСТО» (Зеленоград) разработана, изготовлена и апробирована автоматизированная система для выполнения технологической операции ионной имплантации кремниевых пластин для производства силовой электроники. Разработанная система являетcя экспериментальной платформой, позволяющей варьировать распределение покрытия поверхности образца при сканировании ускоренными  частицами.

Загрузки

Опубликован

2024-11-25

Выпуск

Том 21 № 4 (2024): Письма в ЭЧАЯ

Раздел

Физика и техника ускорителей

Лицензия

Лицензия

Как цитировать

Система развертки в растр ионного пучка для ускорителя ЭГ-5. (2024). Письма в ЭЧАЯ, 21(4). https://pepan.jinr.ru/index.php/PepanLetters/article/view/361