(untitled) (Письма в ЭЧАЯ, 2024)
В рамках проекта модернизации ускорителя ЭГ-5 и совместных работ с АО «Микрон» (Зеленоград) и АО «Ангстрем» (Зеленоград) разработана система развертки пучка протонов для облучения кремниевых образцов. На основе электростатического ускорителя ЭГ-5 совместно с сотрудниками фирмы АО НПП «ЭСТО» (Зеленоград) разработана, изготовлена и апробирована автоматизированная система для выполнения технологической операции ионной имплантации кремниевых пластин для производства силовой электроники. Разработанная система являетcя экспериментальной платформой, позволяющей варьировать распределение покрытия поверхности образца при сканировании ускоренными частицами.